01 ●

• Sputter-Anlage

02 ●

• Schlitzbeschichter

03 ●

• Spinbeschichter

04 ●

• LDI-Belichtungsanlage

05 ●

• Stepper

06 ●

• Entwicklungsanlage

07 ●

• ES-Automatiksystem

  Ätz- und Strip-Anlagen

08 ●

• Scribing

01 ●

• Optische Mikroskop

02 ●

• Alpha Step

03 ●

• Alpha Step

  Dickenmessung

04 ●

• AFM

05 ●

• Widerstandsmessgerät

06 ●

• Spektralphotometer

  U-4100

07 ●

• MINI SEM